機械加工廠商隨著微/納米科學與技術(Micro/Nano Science and Technology)的發展，以本身形狀尺寸微小或操作尺度極小為特征的微機械已成為人們認識和改造微觀世界的一種高新科技。微機械由于具有能夠在狹小空間內進行作業，而又不擾亂工作環境和對象的特點，在航空航天、精密儀器、生物醫療等領域有著廣闊的應用潛力，并成為納米技術研究的重要手段，因而受到高度重視并被列為21世紀關鍵技術之首。
精密和超精密加工時現代機械加工制造技術的一個重要組成部分，是衡量一個國家高科技制造業水平高低的重要指標之一。20世紀60年代以來，隨著計算機及信息技術的發展，對制造技術提出了更高的要求，不僅要求獲得極高的尺寸、形位精度，而且要求獲得極高的表面質量。正是在這樣的市場需求下，超精密加工技術得到了迅速的發展，各種工藝、新方法不斷涌現。
